WF6 негізінен электроника өнеркәсібінде металл вольфрамының химиялық бу тұндыру (CVD) процесі үшін шикізат ретінде пайдаланылады. WF6-дан жасалған WSi2 кең ауқымды интегралды схемаларда (LSI) сым материалы ретінде пайдаланылуы мүмкін, сонымен қатар жартылай өткізгіш электродтар үшін шикізат ретінде, фтор химиялық агенттер үшін шикізат, полимерлеу катализаторлары, оптикалық материалдар және т.б.